1. Government Project
  2. Company Project

COMPANY PROJECT

On Going (Update date 2017.05.02)


5. CVD 공정설비의 열/기류 해석을 통한 설비 내 열/기류 분포 해석

                                                                                 산학/삼성전략산학 2016.08.01 - 2017.07.30 

4. 복합센서를 이용한 패드와 웨이퍼 사이의 미세 접촉변화 측정기법 개발 

산학사업/삼성반도체  2016.07.01 - 2017.06.30

3. 비회 이송설비 설계 해석 프로그램 개발 

산학사업/코트렐  2016.07.01 - 2017.06.30

2. 슬러리 특성 평가 및 CMP 성능 평가 연구

산학사업/LTCAM  2016.07.01 - 2017.06.30

1. 다이아몬드 컨디셔너의 구조적 변화에 따른 패드 프로파일 수치해석 평가

산학사업/신한다이아몬드  2016.07.01 - 2017.06.30


Completed


23. CMP 공정 스크래치 저감을 위한 다기능 컨디셔너 ARM용 다이아몬드 컨디셔너 개발

산학사업/신한다이아몬드  2011.09.01 - 2012.08.31

22. CMP 공정용 필터 입자 제거율 및 사용시간에 대한 성능 평가

산학사업/웅진케미컬㈜  2011.07.01 - 2012.06.30

21. 태양전지 셀 웨이퍼 Etching 장치 평가

산학사업/㈜듀라소닉  2010.06.30 - 2011.06.29

20. CMP 공정 생산성 향상을 위한 다기능 컨디셔너 ARM 개발 평가

산학사업/㈜제우스  2011.02.01 - 2012.01.31

19. LBP에서의 현 Nanoparticle 파악 및 요인계 분석

산학사업/삼성전자㈜  2011.01.01 - 2011.07.31

18. ISPM을 이용한 PECVD 장비의 공정평가 및 오염입자 거동에 관한 수치해석 연구

산학사업/삼성전자㈜  2010.08.01 - 2011.07.31

17. CMP 패드 형상에 따른 간극 내 슬러리 유동 및 Ceria 연마입자 거동예측

산학사업/삼성전자㈜  2010.07.01 - 2012.06.30

16. 다공성 패드 (porous pad)의 tribological 특성 분석 및 pad surface 최적화

산학사업/LG화학  2009.10.01 - 2011.09.30

15. 지하역사 공기 조화기 장착용 미세먼지 제거장치 핵심 유닛의 성능 해석

산학사업/㈜동명기술공단종합건축사사무소  2009.06.30 - 2013.06.29

14. 실험 및 수치해석을 통한 그래핀 소재의 CPU 방열판 열전도 규명 연구

삼성학술연구비 지원사업/성균관대학교  2009.06.01 - 2010.05.31

13. 배기 덕트 구조에 따른 압력변화 예측 프로그램 개발

산학사업/삼성반도체  2009.03.01 - 2012.09.30

12. 에어컨 체감 냉방 설계기술 개발

산학사업/삼성전자(주)  2008.05.01 - 2009.04.30

11. 메모리 반도체용 화학적 기계 연마 공정 컨디셔너 개발

산학사업/신한다이아몬드  2008.10.01 - 2011.06.30

10. 지하역사 공기 조화기 장착용 미세먼지 제거장치 핵심 유닛의 성능 해석

산학사업/(주)동명기술공단종합건축사사무소  2008.08.01 - 2009.05.30

 9. 에어로졸 분사 방법을 이용한 필름 형성 및 응용에 관한 연구

산학사업/삼성전기(주)  2008.05.01 - 2009.02.28

 8. 에어로졸을 이용한 PCB 기판의 비아 적층 및 입자 도포에 관한 연구

산학사업/삼성전기(주)  2007.05.01 - 2008.02.28

 7. 반도체 공정용 차압식 MFC의 신뢰성 평가

산학사업/(주)에이치시티  2007.03.01 - 2007.08.31

 6. 고효율 실시간 입자 측정장치 개발에 관한 연구

산학사업/(주)에이치시티  2006.11.01 - 2007.08.31

 5. 제 8세대용 vacuum assembly 내 입자 제거를 위한 유동 최적화

산학사업/코닉시스템(주)  2006.11.06 - 2007.04.30

 4. Vacuum Assembly System과 Seal/Au Dispenser에 관한 구조 및 유동해석

산학사업/코닉시스템(주)  2006.06.12 - 2007.06.11

 3. 저압실시간 나노입자 측정장비를 이용한 반도체공정 중의 오염입자 발생에 관한 연구

  산학사업/삼성전자(주)  2006.02.01 - 2009.03.31

 2. 플라즈마를 이용한 나노입자 제조 연구

  산학사업/삼성종합기술원  2005.12.01 - 2009.01.30

 1. 저압조건에서의 나노입자 측정을 위한  포커싱 연구

  성균학술연구사업/성균관대학교  2005.11.01 - 2003.10.31