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반도체와 디스플레이 생산 공정에서 실시간 불량 여부를 진단, 경제성을 크게 높일 수 있는 오염 입자 분석 장비가 나왔다. 반도체와 디스플레이는 공정 이후에나 불량검사를 실시했다. 공정 중간에 미리 불량 여부를 알게 되면 불량으로 인한 손실을 줄일 수 있게 된다.


한국표준과학연구원(KRISS·원장 권동일)은 2014년 측정장비 업체 코셈에 기술을 이전한 실시간 오염 입자 측정 분석장비 `PCDS`가 기술 이전 2년 만에 상용화, 최근 디스플레이 대기업 A사에 공급했다고 12일 밝혔다. PCDS는 강상우 KRISS 박사와 김태성 성균관대 교수 공동 연구팀이 개발했다. 진공 상태에 부유하는 나노미터 영역의 입자 크기, 형상, 성분 등 다양한 특성을 실시간으로 분석하는 장치다. 코셈은 최근 이 제품을 A사 외에 다른 대기업에도 판매하기로 했다. 정부출연연구기관(출연연)과 대학이 공동 개발, 중소기업에 기술 이전한 `공정 오염원 추적기술`이 2년 만에 상용화되는 셈이다. 회사 측은 5년 이내에 500억원 규모 시장을 형성할 것으로 기대했다.



전자신문 , http://www.etnews.com/20160912000301

http://www.skku.edu/index_pc.jsp

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