On Going (Update date: 2024.10.02)
1. 유해인자 DB구축 및 IoT기반 공기포집-농축-전처리-상시진단 연계기술개
2021.4.1~2025.12.31
2. 7nm급 반도체 고효율화 CMP 연마패드 소재 및 제품화 기술 개발
2020.4.1~2024.12.31
3. 고기능성 CMP Pad conditioner에 필요한 박막 소재 및 코팅 기술개발
2021.9.1~2024.12.31
4. 수전해 전극 공정을 위한 저온 플라즈마 기초연구실
2022.6.1~2025.2.28
5. 차세대 이차원 소재 상용화를 위한 플라즈마 공정 최적화
2022.6.1~2031.2.28
6. [RCMS] CMP 경시성 없는 Pad/Disk 개발 및 공정 기술 제안
2022.4.1~2024.12.31
7. 초임계 유체 세정액 개발
2022.4.1~2024.12.31
8. 극초단파 펄스형 코로나방전반응을 다단식으로 활용한 산업공정가스 및 복합악취 제거 설비 개발
2022.4.1~2024.12.31
9. 저온 플라즈마 기반의 합성/식각 공정을 통한 차세대 2D 반도체 형상제어 및 원자층 수 조절과 나노결정성/패터닝을 이용한 다양한 전기적 특성 연구
2023.4.4~2027.12.31
10. In-situ 결함분석을 통한 고품위 MX2 소재 및 공정기술 개발
2023.4.1~2027.12.31
11. [RCMS] 공정제어를 위한 와전류 센서와 고감도 표면압력 측정센서를 포함한 차세대 화학 기계적 연마 및 차세대 화학 기계적 연마 소재 및 공정기술 개발
2023.4.1~2027.12.31
Completed (Update date: 2021.01.26)
54. 클린룸에 인체 유해성 물질 관리에 대한 국제 표준 개발
산업기술평가원 2017.04.01 - 2020.12.31
53. 기능성 카테터의 실시간,고감도 시술환경 모니터링을 위한 광섬유 센서
보건복지부 2018.03.01 - 2019.04.30
52. 자연산화막 제거 장비 성능 향상을 위한 shower head 특성평가
링크사업단 2018.06.01 - 2018.12.31
51. 11세대 In-Line AOI 및 Laser Repair 복합
중소기업청 2017.06.01 - 2019.12.31
50. 터널 내 입자 거동 예측 평가 연구
국토교통부 2016.02.16 - 2019.05.30
49. 생화학 에어로졸 감지를 위한 MoS2-Graphene 이종복합체 합성 및 광-전기적 감지법을 이용한 분자수준의 대장균 센싱기작연구 선도연구센터 육성사업/한국연구재단 2015.11.01 - 2018.10.31
48. 사파이어 기판용 1-Step CMP를 위한 지르코니아 기반 연마슬러리 개발
중소기업청 2017.09.01 - 2018.8.31
47. 반도체/디스플레이 장비 부품의 표면 입자 측정을 위한 평가기술 개발
링크사업단 2017.02.28 - 2018.1.31
46. 상압 에어로졸 데포지션 코팅법을 이용한 고출력 Dry etch 장비용 내플라즈성 세라믹 부품 개발
한국산업기술 진흥원 2015.08.01 - 2017.07.31
45. Heat transfer simulation 기반 Cross-plane 방향 박막 (수십μm급) 열전도도 측정 모듈 설계 및 제작기술
정부출연 2017.02.01 - 2017.10.31
44.대면적 티타늄 스크레치 감소를 위한 폴리실 슬러리 개발
중소기업청 2016.05.01 - 2017.04.30
43.실시간 바이오 에어로졸 샘플링 및 무필터 전처리 기술개발
미래창조과학부/한국연구재단 2016.08.10 - 2021.02.28
42.냉동,냉장창고 도크 에너지 유출량 검측시스템 설계 및 검측
정부출연/철도기술연구원 2016.05.03 - 2017.02.28
41.기능성 카테터의 실시간, 고감도 시술환경 모니터링을 위한 광섬유 센서, 항법 및 영상 가이드 기술개발 미래창조과학부/한국연구재단 2016.03.01 - 2017.02.28
40.PEEK 소재를 기반으로 한 CMP 리테이닝 링 개발
미래창조과학부/한국연구재단 2016.03.01 - 2017.02.28
39. 생체모사 기법을 활용한 유연성 광학식 촉각센서 개발
경기과학고 심화 R&E 2016.02.16 - 2016.12.16
38. (브릿지사업)반도체 제조 장비용 액체 화학 농도 센서
교육부/한국연구재단 2016.07.27 - 2016.11.25
37.연속식 입자농축 설계 연구
국방 특화연구실 사업/국방부 2011.09.15 - 2016.12.31
36.실시간 나노입자 복합 특성 측정을 위한 집속/분류/포집 기술 개발
신기술융합형성장동력사업/교과부 2011.07.01 - 2016.06.30
35.형태변환형 소자 구현을 위한 공정 및 집적화 기술 연구
선도연구센터 육성사업/한국연구재단 2009.09.01 - 2016.02.28
34.자동차 배기가스 중 오염입자 특성연구 및 후처리기술 개발
경기도지역협력연구센터/경기도 2008.01.01 - 2016.06.30
33. 환경감시용 그래핀 광섬유 TVOCs 센서 및 광산란 PM 2.5 센서개발을 위한 공동 연구
EU FP 참여 활동비 지원사업/지경부 2011.12.01 - 2012.11.30
32. 연속식 입자농축 설계 연구
국방 특화연구실 사업/국방부 2011.09.15 - 2011.12.31
31. 마이크로/나노 입자 분류를 위한 virtual impactor의 제작
대학원생리더십제고프로그램/한국여성과학기술인지원센터 2011.05.01 - 2011.10.31
30. 분말 분사 방법을 이용한 열전소자 기판 내 후막 형성
지역혁신센터사업/삼성전기 2011.03.01 - 2012.02.28
29. 그래핀 센서를 이용한 VOCs 측정 및 센서 성능 평가
과학고 R&E 프로그램/한국과학재단 2011.03.01 - 2011.12.31
28. 열영동을 이용한 나노입자 패터닝 시스템 개발
여성공학기술인력양성사업/교육과학기술부 2010.07.01 - 2010.12.31
27. 고주파 진동 제트를 이용한 세정 시스템 개발
경기도 기술닥터 사업/경기도 2010.07.01 - 2012.06.31
26. CMP slurry 연마입자의 wide-range 측정장비 개발
10년도 산학연공동기술개발지역사업/중소기업청 2010.06.01 - 2011.05.31
25. 방사성 에어로졸 실시간 감지 센서 개발
원자력연구기반확충사업/교과부 2010.05.01 - 2012.03.31
24. 광 소멸 방식 오염입자 측정 센서 개발
2단계 산학협력중심대학육성사업/지식경제부 2010.05.01 - 2011.02.28
23. 에너지 변환용 나노입자 생성/성장/이동 메커니즘의 수치해석적 규명
일반연구자지원사업/교과부 2010.05.01 - 2012.03.31
22. Aerosol Dynamics를 이용한 나노입자의 제어 및 분석연구
과학고 R&E 프로그램/한국과학재단 2010.03.01 - 2011.02.28
21. 나노입자의 전기적 이동도를 이용한 입자 크기 분류 및 고효율 회수 기술 개발 및 평가
학부생연구프로그램/한국과학창의재단 2010.03.01 - 2011.02.28
20. 반도체용 테프론 밸브에서 발생하는 오염 입자의 발생원 규명 및 저감방안 연구
2단계 산학협력중심대학융성사업/지식경제부 2009.08.01 - 2010.03.01
19. 반도체 메모리 생산성 향상을 위한 국산화 CMP 연마패드 연구 및 응용
학술연구비 지원사업/산학협동재단 2009.06.01 - 2010.05.31
18. 용액 내 전기 방전을 통한 나노잉크 제조 및 평가
학부생연구프로그램/한국과학창의재단 2009.05.01 - 2010.03.31
17. 초미세입자 분리 기술 연구
미래도시철도기술개발사업/한국건설교통기술평가원 2009.03.31 - 2012.03.30
16. 메가소닉 세정 모듈 개발
중기거점기술개발사업/산업자원부 2008.11.01 - 2011.10.31
15. 반도체 공정 환경 예측 알고리즘 및 기술 개발
전략기술개발사업/지경부 2008.11.01 - 2011.09.30
14. 실험 및 이론적 연구를 통한 나노유체의 세포유해성 평가 및 평가지표 구축 연구
에너지, 자원기술개발사업/한국에너지기술연구원 2008.10.01 - 2010.09.30
13. 모듈 교환형 필터 성능 평가 장치 개발 및 평가
과학고 R&E 프로그램/한국과학재단 2008.10.01 - 2009.02.28
12. 반도체 공정의 초미세 입자 제거용 건식 세정 기술 개발
청정생산기술개발보급사업/지경부 2008.09.01 - 2010.08.31
11. IT접목학과 지원사업
IT접목학과 지원사업/정보통신연구진흥원 2008.03.01 - 2008.12.31
10. 열분해법을 이용한 실리콘 나노입자 형성 수치모델 개발
문제해결형인력양성지원사업/학술진흥재단 2007.12.01 - 2008.11.31
9. 은 나노 입자 흡입 독성 평가를 위한 챔버 내 유동 해석
문제해결형인력양성지원사업/학술진흥재단 2007.12.01 - 2008.11.31
8. 저압에서 발생되는 나노입자 측정기술 연구
문제해결형인력양성지원사업/학술진흥재단 2007.12.01 - 2008.11.31
7. 저압 실시간 입자측정장치를 이용한 공정오염도 평가
산업기술기반조성사업/산업자원부 2007.11.01 - 2008.10.31
6. 열수송관 기술이론 정립 및 국내 기술표준서 작성 용역
공기업/한국지역난반공사 2006.12.26 - 2007.12.25
5. 환경 감시/정화를 위한 신개념 지능형 ECO-bug
융합기술 파이오니어사업/과학기술부 2006.12.01 - 2007.12.25
4. 45 nm 대응 메가소닉 세정 모듈 개발
중기거점기술개발사업/산업자원부 2006.11.01 - 2008.10.31
3. 저압 DMA 개발
진공기술기반구축사업/산업자원부 2006.11.01 - 2007.09.30
2. 나노 복합 구조를 갖는 박막의 제조 및 평가
특정기초연구사업/과학기술부 2006.03.01 - 2009.02.28
1. 직업기초능력 함양을 위한 이공계 기본소양교육 체계 확립
이공계교육과정개발연구사업/학술진흥재단 2005.11.01 - 2007.10.31